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【技術/半導体】ジョージア工科大学が室温環境下でC60を用いたFETの製造に成功

1 :まぁいいかφ ★:2007/11/28(水) 21:19:05 ID:???
 米ジョージア工科大学(Georgia Institute of Technology)は2007年11月、
室温環境下における処理によってC60(カーボン60、フラーレーン)の薄膜を備えた
FET(field effect transistor:電界効果トランジスタ)の製造に成功したことを発表した。
従来は250℃のホットウォールエピタキシ法によってC60の薄膜を形成していたが、
室温環境における処理によってFETを形成することが可能になった。これにより、
低温で処理しなければならないプラスチック基板上において、C60を用いた回路を
形成するということが実用化できる可能性が出てきた。試作されたFETは、
TFT(thin film transistor)液晶パネルなどに使用されるアモルファスシリコンを用いた
FETと比較して、2.7〜5cm2/V/sの高い移動度と高いオン/オフ比、低い閾値電圧
などの特性を備える。主にフレキシブル基板を使用するディスプレイや電子広告板、
RFID(radio frequency identification)などへの応用が期待できるという。

 具体的な製造手順は、まず薄いフィルム上のシリコン基板に対してゲート電極と
ゲート誘電体を形成し、次に気相部からC60を堆積するというものになる。
最後にシャドウマスクによってソース/ドレイン電極を形成する。

 C60を用いたプラスチック基板を実用化するためには、C60が酸素に対して
敏感に反応することが今後の課題となる。そのため、現在そのFETは
窒素雰囲気中などでしか動作することができない。この課題に対して同大学では、
ほかのフラーレンや適切なパッケージングを用いて対応することを検討している。

ソース:EDN Japan
http://www.ednjapan.com/content/l_news/2007/u3eqp3000001fo3a.html

Organic Transistors: Researchers Produce High Performance
Field-Effect Transistors with Thin Films of Carbon 60
http://gtresearchnews.gatech.edu/newsrelease/carbon60.htm

2 :まぁいいかφ ★:2007/11/28(水) 21:19:17 ID:???
関連スレ:
【材料】フラーレンで作った、世界で最も水を通しにくい分子二重膜
http://news21.2ch.net/test/read.cgi/scienceplus/1188911666/

【技術/半導体】フィン型トランジスタを用いた新SRAM 従来比1.5倍の動作安定、22nm世代メモリの問題解決にメド
http://news21.2ch.net/test/read.cgi/scienceplus/1190120942/

【量子】量子多体現象をシミュレートできる光半導体素子を開発
http://news21.2ch.net/test/read.cgi/scienceplus/1195734931/

3 :名無しのひみつ:2007/11/28(水) 21:35:18 ID:OewV2nKn
なんという、シェーンの再来

4 :名無しのひみつ:2007/11/28(水) 21:39:38 ID:kYnBKKfJ
うはは

5 :名無しのひみつ:2007/11/28(水) 21:56:01 ID:kcNHSOlf
地味な研究だなw

6 :(,,゚д゚)さん 頭スカスカ:2007/11/28(水) 22:43:44 ID:kS9P6NZh
因みに室温(RT : ROOM TEMPERATURE)て言ったら国際的にも
27℃(300゚K)と決まってます。 省エネとかんなんとか言われても
これだけは変えられない。 

7 :名無しのひみつ:2007/11/28(水) 22:54:38 ID:HbzaeZge
できりゃすごい
これってMISかな?

>窒素雰囲気中などでしか動作することができない

パッケージングの行程で対応できそうだな
半田するときに水素、窒素で満たしてるし、
このときにゲル入れてフタすればよい


8 :名無しのひみつ:2007/11/29(木) 01:34:13 ID:yWBMXnYO
2.7〜5cm2/V/sで高いのか?



9 :名無しのひみつ:2007/11/29(木) 02:04:42 ID:aD00WsXh
ttp://www.geocities.co.jp/Bookend-Kenji/5046/bussei1.html
ここには 1500 〜 8500 cm^2/Vs とかの値が書いてある。単位が違うのかな。

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